Herkunftsort: | China |
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Markenname: | Newradar Gas |
Zertifizierung: | ISO/DOT/GB |
Modellnummer: | N/A |
Min Bestellmenge: | PC 1 |
Preis: | Verhandlungsfähig |
Verpackung Informationen: | Verpackt im Zylinder 10L-500L oder entsprechend den Nachfragen verpackt. |
Lieferzeit: | 10-20 Werktage empfingen nachher Ihre Zahlung |
Zahlungsbedingungen: | L/C, T/T, Western Union, MoneyGram |
Versorgungsmaterial-Fähigkeit: | PCS 1000 pro Monat |
Produktname: | Stickstofftrifluorid | DICHTE: | 3,003 kg/m3 (1 ATM, °C) 15 |
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Geruch: | Schimmelig | Auftritt:: | Farbloses Gas |
Anwendung: | Plasmaradierung von Siliziumscheiben | Einecs nein.: | 232-007-1 |
Schmelzpunkt: | °C −207.15 | Siedepunkt: | °C −129.06 |
Hervorheben: | Elektronengas,Reinheit plus Spezialitätengase |
Stickstoff-Trifluorid NF3, 99.99~99.999%, verwendet in der Plasma-Radierung von Siliziumscheiben
Beschreibung:
Stickstofftrifluorid (NF3) ist ein neues spezielles Gas für elektronische Industrie als Reinigungsgas für Plasmareinigung und -radierung, weitverbreitet in TFT LCD, im Halbleiter und in der Solarfotoelektrizitätsindustrie etc. und hat Vorteile ohne remaing, hohe Reinigungsgeschwindigkeit und einfach zu zerlegen.
Reif basiert auf der Elektrolyse und der Fluoridfertigungstechnik, durch ununterbrochenen R&D für einiges Jahr, hat die Firma einige produion Technologie erzielt, die in der Welt vorangebracht wird. Seit 2009 LRICI ist ein Lieferant mit hohem Ansehen des Gases der Elektronischgradprodukte NF3 zu den inländischen Kunden und zu den Kunden von Japan, von Taiwan, von Südkorea etc. stabil gewesen. Die Firma jetzt hat die Kapazität von 1000 t/a und kann Spezifikt. als 99,999%, Produktion ECU sogar NF3 ununterbrochen und stabil stoßen.
Spezifikationen:
1. Physikalische Eigenschaften
Produkt-Name | Stickstoff-Trifluorid |
Molekulare Formel | NF3 |
UNO nein. | UNO 2451 |
CAS No. | 7783-54-2 |
EINECS nein. | 232-007-1 |
2. typische technische Daten
Verunreinigungen | NF3≥99.995% Vol.% | NF3≥99.99% Vol.% | NF3≥99.98% Vol.% | NF3≥99.9% Vol.% |
CF4 | ≤20 Vol.ppm | ≤40 Vol.ppm | ≤100 Vol.ppm | ≤500 Vol.ppm |
N2 | ≤5 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤50 Vol.ppm |
O2+Ar | ≤3 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤50 Vol.ppm |
CO2 | ≤1 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
H2O | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm |
HF | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm |
SF6 | ≤1 Vol.ppm | ≤2 Vol.ppm | ≤2 Vol.ppm | ≤25 Vol.ppm |
N2O | ≤1 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
Co | ≤0.5 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
3. Paket
Tonnenzylinder der PUNKTnahtloser Stahlzylinder 3AA/GB5099
Zylinder-Informationen | Einzelner Zylinder (47L) | Bündel | Y-Zylinder | ISO-Rohr |
Material | Mangan-Stahl (316L) | Stahl Cr-MO | ||
Ventil-Verbindungsart | CGA 330 CGS/DISS 640 | DISS 640 usw. | ||
Art | DOT-3AA GB5099 | 47L*16/47L*25 | 20ft: 40ft | |
Druck | 9-13Mpa | |||
Füllendes Gewicht | 20/22.7kg | 195/200 |
Anwendungen:
Stickstoff-Trifluorid (NF3) ist in der elektronischen Industrie, Halbleiter und Solarfotoelektrizitätsindustrie etc., das weitverbreitet gewesen es eine gute Radierung und ein Reinigungsgas mit Vorteilen ohne restliches ist, hohe Reinigungsgeschwindigkeit und einfach zu zerlegen.