Detailinformationen

CAS No.:	76-16-4	EINECS nein::	200-939-8
RIDADR:	UNO 2193 2,2	andere Namen:	Kohlenstoffhexafluorid, 1,1,1,2,2,2-Hexafluoroethane, Perfluoroethane, Ethforane, Halocarbon 116, PF
Auftritt::	Farbloses verflüssigtes Gas	UNO NEIN.:	2193
Grad-Standard:	Elektron-Grad-industrieller Grad	Synonyme:	1,1,1,2,2,2-Hexafluoroethane; C2F6; Äthan, hexafluoro-; Ethylhexafluoride; f116; F-116; FC1160; Fluo
Anwendung:	Elektronikausrüstung, Transformator, Kühl-flüssigkeit	MF::	C2F6
Mol File::	76-16-4.mol
Markieren:	Elektrisches Gas , Elektronengas

Produkt-Beschreibung

CAS 76164 Fluorkohlenstoff 116 elektronische Gase Halocarbon-C2F6 mit Zylinder für Etchant in der Halbleiter-Herstellung

Beschreibung:

Hexafluoroethane wird als vielseitiges etchant in der Halbleiterherstellung verwendet. Es kann für selektive Radierung von Metallsiliciden und -oxiden gegen ihre Metallsubstrate und auch für die Ätzung des Siliciumdioxids über Silikon verwendet werden. Das Primäraluminium und die Halbleiter Fertigungsindustrien sind die bedeutenden Emitter von hexafluoroethane.

Hexafluoroethane ist verhältnismäßig träge. Die Mischung ist nicht brennbar und ungiftig, obwohl Erstickung möglicherweise wegen der Verschiebung des Sauerstoffes auftritt. Unter der verlängerten abzufeuern Belichtung oder starker Hitze die Behälter möglicherweise brechen heftig und Rakete.

Hexafluoroethane ist in vielen Situationen chemisch träge, aber kann mit starken Reduktionsmitteln wie den sehr aktiven Metallen und den aktiven Metallen heftig reagieren. Kann mit starken Oxidationsmitteln oder schwächeren Oxidationsmitteln unter Temperaturextremen reagieren.

Dämpfe verursachen möglicherweise Übelkeit oder Erstickung, ohne zu warnen. Dämpfe von verflüssigtem Gas sind zuerst schwerer als Luft und Verbreitung entlang Boden. Kontakt mit Gas oder verflüssigtem Gas verursacht möglicherweise Brände, schwere Verletzung und/oder Frostbeule. Feuer produziert möglicherweise die Reizungs, ätzenden und/oder giftigen Gase.

Einige brennen möglicherweise aber keine, bereitwillig anzuzünden. Behälter explodieren möglicherweise, wenn sie erhitzt werden. Gebrochene Zylinder schnellen möglicherweise hoch.

Spezifikationen:

1. Physikalische Eigenschaften

Ware	Hexafluoroethane
Molekulare Formel	R116
CAS No	76-16-4
UNO nein.	2193
Gefährliche Klasse	2,2
MF:	C2F6
Hubraum	40L, 500L
Füllendes Gewicht	nachfüllbarer Zylinder 530kg/500L nachfüllbarer Zylinder 20kg/40L
Lagerung und Transport	Gebrauch, Speicher und Transport unter 45C. Speicher in den kühlen und gut-gelüfteten Bereichen. Halten Sie weg von Feuer, Hitze, Sonnenlicht und brennbaren Substanzen. Griff sorgfältig wenn Be- und Entladung, zum von Schäden der Gasflaschen und der Zusätze zu vermeiden.

2. typische technische Daten

Reinheit, %	≥99.8
Feuchtigkeit, PPMs	≤10
Säure, PPMs	≤1
Dampf-Rückstand, PPMs	≤100
Auftritt	Farblos, nicht trüb
Geruch	Kein merkwürdiger Gestank

Molekulargewicht	66,1
Siedepunkt, °C	-24,7
Kritische Temperatur, °C	113,5
Kritischer Druck, Mpa	4,58
Spezifische Wärme der Flüssigkeit, 30°C, [kJ (kg°C)]	1,68
ODP	0
GWP	0,014

Halocarbon 116 CASs 76-16-4 0

Anwendungen:

Multifunktionsätztechnik

In der Produktion des Halbleiters

Das Metallsubstrat

Es kann in der selektiven Radierung des Metallsilikonmetalls und des Metalloxids verwendet werden.

Unter der verlängerten abzufeuern Belichtung oder starker Hitze die Behälter möglicherweise brechen heftig und Rakete.

Größe und Tag:

Herkunftsort:	China
Markenname:	Newradar Gas
Zertifizierung:	ISO/DOT/GB
Modellnummer:	N/A

Min Bestellmenge:	1000 Kilogramm
Preis:	negotiation
Verpackung Informationen:	Standardexportverpackung: jeder durch zwei Poly-netze geschützt zu werden Zylinder, stehend auf der
Lieferzeit:	15-25 Werktage empfingen nachher Ihre Zahlung
Zahlungsbedingungen:	L/C, T/T, Western Union, MoneyGram
Versorgungsmaterial-Fähigkeit:	3,00 Tonne pro Monat

Halocarbon 116 CASs 76-16-4

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