Farblose elektronische Gase der Reinheits-NF3 99.99~99.999% mit schimmeligem Geruch, °C −129.06 Siedepunkt

NF3, Flüssiggas, Stickstoff-Trifluorid, 99.99~99.999%, verwendet in der elektronischen Industrie

Beschreibung:

Stickstoff-Trifluorid (NF3) ist ein farbloses und stabiles Gas unter Umgebungsbedingungen. Das Gas ist, unverbrennbar aber kann Verbrennung stützen. Wenn die Temperatur über 350℃ ist, zerlegt das Gas langsam, um Fluor der starken Oxidation zu produzieren und deshalb, ist es ein starkes Oxydationsmittel an der hohen Temperatur.

Die resultierenden Fluoratome sind die aktiven Reinigungsmittel, die den Polysilicon, das Silikonnitrid und das Siliziumoxid in Angriff nehmen. Stickstofftrifluorid kann mit Wolframsilicid und dem Wolfram auch benutzt werden, der durch CVD produziert wird.

NF3 ist als einen umweltsmäßig vorzuziehenden Ersatz für Schwefelhexafluorid oder perfluorocarbons wie hexafluoroethane angesehen worden. Die Prozessnutzung der Chemikalien, die in den Plasmaverfahren angewendet werden, ist gewöhnlich unter 20%. Deshalb etwas von dem PFCs und auch etwas von dem immer Entweichen NF3 in die Atmosphäre. Moderne Gasabnahmesysteme können solche Emissionen verringern.

Spezifikationen:

1. Physikalische Eigenschaften

2. typische technische Daten

3. Paket

Tonnenzylinder der PUNKTnahtloser Stahlzylinder 3AA/GB5099

Anwendungen:

Stickstoff-Trifluorid (NF3) ist in der elektronischen Industrie, Halbleiter und Solarfotoelektrizitätsindustrie etc., das weitverbreitet gewesen es eine gute Radierung und ein Reinigungsgas mit Vorteilen ohne restliches ist, hohe Reinigungsgeschwindigkeit und einfach zu zerlegen.