Flüssige elektronische Gase NF3 verpackt mit 10L zu den Zylindern 500L, 71,00 G/Mol Molar Mass

NF3, Flüssiggas, Stickstoff-Trifluorid, 99.99~99.999%, verpackt in 10L zu den Zylindern 500L

Beschreibung:

Stickstofftrifluorid ist das anorganische Mittel mit der Formel NF3. Dieses Stickstofffluormittel ist ein farbloses, geruchloses, nicht brennbares Gas. Es findet zunehmenden Gebrauch als etchant in der Mikroelektronik.

Stickstofftrifluorid ist das anorganische Mittel mit der Formel NF3. Dieses Stickstofffluormittel ist ein farbloses, geruchloses, nicht brennbares Gas. Es findet zunehmenden Gebrauch als etchant in der Mikroelektronik.

Stickstofftrifluorid wird in der Plasmaradierung von Siliziumscheiben benutzt. Heute wird Stickstofftrifluorid überwiegend in der Reinigung der PECVD-Kammern in der Großserienproduktion von Flüssigkristall-Sichtanzeigen und von Silikon-ansässigen Dünnschichtsolarzellen eingesetzt. In diesen Anwendungen wird NF3 zuerst in situ durch ein Plasma aufgegliedert.

Spezifikationen:

1. Physikalische Eigenschaften

2. typische technische Daten

3. Paket

Tonnenzylinder der PUNKTnahtloser Stahlzylinder 3AA/GB5099

Anwendungen:

Stickstoff-Trifluorid (NF3) ist in der elektronischen Industrie, Halbleiter und Solarfotoelektrizitätsindustrie etc., das weitverbreitet gewesen es eine gute Radierung und ein Reinigungsgas mit Vorteilen ohne restliches ist, hohe Reinigungsgeschwindigkeit und einfach zu zerlegen.