Farbloses Excimer-Laser-Gas

Excimer-Laser-Gas-Argon-Fluorid ArF-Preis-Mischungen verpackt in 1L - Zylinder 50L

Beschreibung:

Ein Argonfluoridlaser absorbiert Energie von einer Quelle und veranlaßt das Argongas, mit dem Fluorgas zu reagieren, Argon monofluoride produzierend, ein vorübergehender Komplex, in einem aufgeregten Energiezustand:
2 AR + F2 → 2 ArF

Der Komplex kann die spontane oder angeregte Emission durchmachen und seinen Energiezustand auf einem metastabilen, aber in hohem Grade abstoßenden Grundzustand verringern. Der Grundzustandskomplex trennt schnell sich in ungebundene Atome:
2 ArF → 2 AR + F2

Das Ergebnis ist ein exciplex Laser, der Energie bei 193 Nanometer ausstrahlt, die im weiten ultravioletten Teil des Spektrums liegt und entspricht mit der Energiedifferenz von 6,4 Elektronvolt zwischen dem Grundzustand und dem angeregten Zustand des Komplexes.

Das Licht, das durch das ArF ausgestrahlt wird, ist zum menschlichen Auge unsichtbar, also sind zusätzliche Sicherheitsanweisungen notwendig beim Arbeiten mit diesem Laser, um Streustrahlen zu vermeiden. Handschuhe sind erforderlich, das Fleisch vor den potentiallycarcinogenic Eigenschaften des UVstrahls zu schützen, und UVschutzbrillen sind erforderlich, die Augen zu schützen.

Spezifikationen:

1. Physikalische Eigenschaften

2. typische technische Daten (COA)

3. Paket

Anwendungen:

Argon-Fluorid-Mischungen werden in 193 Nanometer-Lithographieanwendungen, normalerweise in Verbindung mit einem trägen Gasgemisch benutzt.