Detailinformationen

Anwendung:	Prozess der Lithographie-248nm und gemischt mit Halogen unter Verwendung der Mischgase	CF4:	tetrafluoromethane
Keine UNO:	1982	Sauerstoff:	O2
Paket::	nahtlose Stahlzylinder	Andere Namen:	Sauerstoff-Tetrafluormethan-Mischung
Auftritt::	Farbloses Gas	Zylindervolumen::	10L, 25L, 40L oder 50L
Gradstandard:	Elektron-Grad-Grad	Toxische Substanz:	Ungiftig
Hervorheben:	Luft liquide Spezialitätengase , spezielle Gase

Produkt-Beschreibung

UHP-Gas Gasgemisch-Sauerstoff der Spezialitäten-O2 und CF4 mit Tetrafluoromethane-Mischungs-Hersteller

Beschreibung:

Anisotropes etch.control. Andere Halocarbons sowie das Vorhandensein der Luft oder des Sauerstoffes, ist zur Steuerung von theTetrafluoride Ergebnissen in der überlegenen Steuerung des Prozesses schädlich, der besseres Mass- und Profil ergibt. Ein höherer Reinheitsgrad Carbonor CF2conditions, das Fluor, das freie Radikale gewöhnlich in Form von CF3Carbon-Tetrafluoride sind, ist unter Normalbedingungen verhältnismäßig träge und ist eine Pulsstockung. Unter Rf-plasmaprocesses. Tetrafluormethan wird mit Sauerstoff benutzt, um Polysilicon, Siliciumdioxid und Silikonnitrid zu ätzen. Tetrafluormethan ist eine Quelle von den freien Radikalen des Fluor- oder Kohlenstofffluorids, die in einer Vielzahl der Oblatenätzung benutzt werden

Spezifikationen:

1. Physikalische Eigenschaften

Major Components
KOMPONENTEN	KONZENTRATION	STRECKE
O2	20%	19.9-20.1%
CF4	Balance

2. typische technische Daten (COA)

Maximale Verunreinigungen
KOMPONENTEN	KONZENTRATION (PPMs)
Kohlendioxyd (CO2)	<1>
Kohlenmonoxid (Co)	<1>
Feuchtigkeit (H2O)	<0>
Stickstoff (N2)	<10>
Sauerstoff (O2)	<5>
THC (als Methan) (CH4)	<0>
Andere Halocarbons	<1>
Schwefel-Hexafluorid	<1>

Zylinder Specifications*			Inhalt	Druck
Zylinder	Ventil-Ausgang-Wahlen		Pfund	PSIG	STANGE
2	CGA 580	DISS 716	70	2000	139

Anwendungen:

Tetrafluoromethane wird manchmal als Kühlmittel der niedrigen Temperatur verwendet.

Es wird in Elektronik microfabrication allein oder im Verbindung mit Sauerstoff als Plasma verwendet, das für Silikon, Siliciumdioxid und Silikonnitrid etchant ist.

Es hat auch Gebrauch in den Neutrondetektoren

Größe und Tag:

Herkunftsort:	China
Markenname:	Newradar Gas
Zertifizierung:	ISO/DOT/GB
Modellnummer:	N/A

Min Bestellmenge:	1000 Liter
Preis:	Verhandlungsfähig
Verpackung Informationen:	10kg, 40kg oder 50kg verpackt in der qualifizierten Gasflasche oder entsprechend den Nachfragen verp
Lieferzeit:	15-25 Werktage empfingen nachher Ihre Zahlung
Zahlungsbedingungen:	L/C, T/T, Western Union, MoneyGram
Versorgungsmaterial-Fähigkeit:	Kubikmeter 3,00 pro Monat

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