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UHP-Gas Gasgemisch-Sauerstoff der Spezialitäten-O2 und CF4 mit Tetrafluoromethane-Mischungs-Hersteller

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Gute Qualität Edelgase en ventes
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UHP-Gas Gasgemisch-Sauerstoff der Spezialitäten-O2 und CF4 mit Tetrafluoromethane-Mischungs-Hersteller

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Großes Bild :  UHP-Gas Gasgemisch-Sauerstoff der Spezialitäten-O2 und CF4 mit Tetrafluoromethane-Mischungs-Hersteller

Produktdetails:

Herkunftsort: China
Markenname: newradar / accept OME
Zertifizierung: ISO/DOT/GB
Modellnummer: N / A

Zahlung und Versand AGB:

Min Bestellmenge: 1000 Liter
Preis: negotiation
Verpackung Informationen: 10kg, 40kg oder 50kg verpackten in der qualifizierten Gasflasche oder verpackten entsprechend den Na
Lieferzeit: 15-25 Werktage nach empfingen Ihre Zahlung
Zahlungsbedingungen: L/C, T/T, Western Union, MoneyGram
Versorgungsmaterial-Fähigkeit: Kubikmeter 3,00 pro Monat
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Ausführliche Produkt-Beschreibung
Anwendung: Lithographie 248nm Prozess- und Misch mit Halogen unter Verwendung der Mischgase CF4: tetrafluoromethane
KEINE UNO: 1982 Sauerstoff: O2
Paket:: Zylinder des nahtlosen Stahls Andere Namen: Sauerstoff-Tetrafluormethan-Mischung
Auftritt:: FARBLOSES GAS Zylindervolumen:: 10L, 25L, 40L oder 50L
Grade Standard: Elektron-Grad-Grad Giftig: Nicht-toxische

 

UHP-Gas Gasgemisch-Sauerstoff der Spezialitäten-O2 und CF4 mit Tetrafluoromethane-Mischungs-Hersteller

 

Beschreibung:

 

Anisotropes etch.control. Andere Halocarbons sowie das Vorhandensein der Luft oder des Sauerstoffes, ist zur Steuerung von theTetrafluoride Ergebnissen in der überlegenen Steuerung des Prozesses schädlich, der besseres Mass- und Profil ergibt. Ein höherer Reinheitsgrad Carbonor CF2conditions, das Fluor, das freie Radikale gewöhnlich in Form von CF3Carbon-Tetrafluoride sind, ist verhältnismäßig träge Unternormalbedingungen und ist eine Pulsstockung. Unter Rf-plasmaprocesses. Tetrafluormethan wird mit Sauerstoff benutzt, um Polysilicon, Siliciumdioxid und Silikonnitrid zu ätzen. Tetrafluormethan ist eine Quelle von den freien Radikalen des Fluor- oder Kohlenstofffluorids, die in einer Vielzahl der Oblatenätzung benutzt werden

 

 

Spezifikationen:

 

1. Physikalische Eigenschaften

 

Hauptteile
KOMPONENTEN KONZENTRATION STRECKE
O2 20% 19.9-20.1%
CF4 Balance  

 

 

 

 

 

 

2. typische technische Daten (COA)

 

Maximale Verunreinigungen
KOMPONENTEN KONZENTRATION (PPMs)
Kohlendioxyd (CO2) <1>
Kohlenmonoxid (Co) <1>
Feuchtigkeit (H2O) <0>
Stickstoff (N2) <10>
Sauerstoff (O2) <5>
THC (als Methan) (CH4) <0>
Andere Halocarbons <1>
Schwefel-Hexafluorid <1>

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Zylinder Specifications* Inhalt Druck
Zylinder Ventil-Ausgang-Wahlen Pfund PSIG STANGE
2 CGA 580 DISS 716 70 2000 139

 

 

 

 

 

Anwendungen:

 

1

 Tetrafluoromethane wird manchmal als Kühlmittel der niedrigen Temperatur verwendet.

 

2

 Es wird in Elektronik microfabrication allein oder im Verbindung mit Sauerstoff als Plasma verwendet, das für Silikon, Siliciumdioxid und Silikonnitrid etchant ist.

 

3

 Es hat auch Gebrauch in den Neutrondetektoren

 

 

Kontaktdaten
Wuhan Newradar Special Gas Co.,Ltd

Ansprechpartner: Bella

Telefon: +8615927358762

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