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Farblose Spezialitäten-Gasgemische

Grundlegende Informationen
Herkunftsort: China
Markenname: Newradar Gas
Zertifizierung: ISO/DOT/GB
Modellnummer: N/A
Min Bestellmenge: 1000 Liter
Preis: negotiation
Verpackung Informationen: 10kg, 40kg oder 50kg verpackt in der qualifizierten Gasflasche oder entsprechend den Nachfragen verp
Lieferzeit: 15-25 Werktage empfingen nachher Ihre Zahlung
Zahlungsbedingungen: L/C, T/T, Western Union, MoneyGram
Versorgungsmaterial-Fähigkeit: Kubikmeter 3,00 pro Monat
Detailinformationen
CAS No.: 7439-90-9 Keine UNO: 1982
Reinheit:: 99,999% Paket:: nahtlose Stahlzylinder
Andere Namen: Sauerstoff-Tetrafluormethan-Mischung Auftritt:: Farbloses Gas
Zylindervolumen:: 10L, 25L, 40L oder 50L Gradstandard: Elektron-Grad-Grad
Toxische Substanz: Ungiftig Anwendung: Prozess der Lithographie-248nm und gemischt mit Halogen unter Verwendung der Mischgase
Markieren:

Luftprodukt-Spezialitätengase

,

Luft liquide Spezialitätengase


Produkt-Beschreibung

Sauerstoff der Spezialitäten-Gasgemisch-20% mit O2 des Tetrafluormethan-CF4 Mixted für Ätzung Polysilicon und Siliciumdioxid

 

Beschreibung:

 

Spezialitäten-Gasgemische

 

Tetrafluormethan ist eine Quelle von den freien Radikalen des Fluor- oder Kohlenstofffluorids, die in einer Vielzahl von Oblate etchprocesses benutzt werden. Tetrafluormethan wird mit Sauerstoff benutzt, um Polysilicon, Siliciumdioxid und Silikonnitrid zu ätzen.

 

Tetrafluormethan ist unter Normalbedingungen verhältnismäßig träge und ist eine Pulsstockung. Unter Rf-Plasmazuständen sind die freien Radikale des Fluors gewöhnlich in Form von CF3

oder CF2. Ein höherer Reinheitsgrad CarbonTetrafluoride-Ergebnisse in der überlegenen Steuerung des Prozesses, der bessere Mass- und Profilsteuerung ergibt.

 

Andere Halocarbons sowie das Vorhandensein der Luft oder des Sauerstoffes, ist zur Steuerung der anisotropen Ätzung schädlich.

 

Spezifikationen:

 

1. Physikalische Eigenschaften

 

Major Components
KOMPONENTEN KONZENTRATION STRECKE
O2 20% 19.9-20.1%
CF4 Balance  

 

 

 

 

 

 

2. typische technische Daten (COA)

 

Maximale Verunreinigungen
KOMPONENTEN KONZENTRATION (PPMs)
Kohlendioxyd (CO2) <1>
Kohlenmonoxid (Co) <1>
Feuchtigkeit (H2O) <0>
Stickstoff (N2) <10>
Sauerstoff (O2) <5>
THC (als Methan) (CH4) <0>
Andere Halocarbons <1>
Schwefel-Hexafluorid <1>

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Zylinder Specifications* Inhalt Druck
Zylinder Ventil-Ausgang-Wahlen Pfund PSIG STANGE
2 CGA 580 DISS 716 70 2000 139

 

 

 

 

Farblose Spezialitäten-Gasgemische 0

Anwendungen:

 

1

 Tetrafluoromethane wird manchmal als Kühlmittel der niedrigen Temperatur verwendet.

 

2

 Es wird in Elektronik microfabrication allein oder im Verbindung mit Sauerstoff als Plasma verwendet, das für Silikon, Siliciumdioxid und Silikonnitrid etchant ist.

 

3

 Es hat auch Gebrauch in den Neutrondetektoren

 

 

Kontaktdaten
Vicky Liu

Telefonnummer : 86-27-82653381

WhatsApp : +8613667126861