Herkunftsort: | China |
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Markenname: | Newradar Gas |
Zertifizierung: | ISO/DOT/GB |
Modellnummer: | N/A |
Min Bestellmenge: | 1000 Liter |
Preis: | negotiation |
Verpackung Informationen: | 10kg, 40kg oder 50kg verpackt in der qualifizierten Gasflasche oder entsprechend den Nachfragen verp |
Lieferzeit: | 15-25 Werktage empfingen nachher Ihre Zahlung |
Zahlungsbedingungen: | L/C, T/T, Western Union, MoneyGram |
Versorgungsmaterial-Fähigkeit: | Kubikmeter 3,00 pro Monat |
CAS No.: | 7439-90-9 | Keine UNO: | 1982 |
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Reinheit:: | 99,999% | Paket:: | nahtlose Stahlzylinder |
Andere Namen: | Sauerstoff-Tetrafluormethan-Mischung | Auftritt:: | Farbloses Gas |
Zylindervolumen:: | 10L, 25L, 40L oder 50L | Gradstandard: | Elektron-Grad-Grad |
Toxische Substanz: | Ungiftig | Anwendung: | Prozess der Lithographie-248nm und gemischt mit Halogen unter Verwendung der Mischgase |
Markieren: | Luftprodukt-Spezialitätengase,Luft liquide Spezialitätengase |
Sauerstoff der Spezialitäten-Gasgemisch-20% mit O2 des Tetrafluormethan-CF4 Mixted für Ätzung Polysilicon und Siliciumdioxid
Beschreibung:
Spezialitäten-Gasgemische
Tetrafluormethan ist eine Quelle von den freien Radikalen des Fluor- oder Kohlenstofffluorids, die in einer Vielzahl von Oblate etchprocesses benutzt werden. Tetrafluormethan wird mit Sauerstoff benutzt, um Polysilicon, Siliciumdioxid und Silikonnitrid zu ätzen.
Tetrafluormethan ist unter Normalbedingungen verhältnismäßig träge und ist eine Pulsstockung. Unter Rf-Plasmazuständen sind die freien Radikale des Fluors gewöhnlich in Form von CF3
oder CF2. Ein höherer Reinheitsgrad CarbonTetrafluoride-Ergebnisse in der überlegenen Steuerung des Prozesses, der bessere Mass- und Profilsteuerung ergibt.
Andere Halocarbons sowie das Vorhandensein der Luft oder des Sauerstoffes, ist zur Steuerung der anisotropen Ätzung schädlich.
Spezifikationen:
1. Physikalische Eigenschaften
Major Components | ||
KOMPONENTEN | KONZENTRATION | STRECKE |
O2 | 20% | 19.9-20.1% |
CF4 | Balance |
2. typische technische Daten (COA)
Maximale Verunreinigungen | |
KOMPONENTEN | KONZENTRATION (PPMs) |
Kohlendioxyd (CO2) | <1> |
Kohlenmonoxid (Co) | <1> |
Feuchtigkeit (H2O) | <0> |
Stickstoff (N2) | <10> |
Sauerstoff (O2) | <5> |
THC (als Methan) (CH4) | <0> |
Andere Halocarbons | <1> |
Schwefel-Hexafluorid | <1> |
Zylinder Specifications* | Inhalt | Druck | |||
Zylinder | Ventil-Ausgang-Wahlen | Pfund | PSIG | STANGE | |
2 | CGA 580 | DISS 716 | 70 | 2000 | 139 |
Anwendungen:
1 |
Tetrafluoromethane wird manchmal als Kühlmittel der niedrigen Temperatur verwendet.
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2 |
Es wird in Elektronik microfabrication allein oder im Verbindung mit Sauerstoff als Plasma verwendet, das für Silikon, Siliciumdioxid und Silikonnitrid etchant ist.
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3 |
Es hat auch Gebrauch in den Neutrondetektoren
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