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Farblose elektronische Gase der Reinheits-NF3 99.99~99.999% mit schimmeligem Geruch, °C −129.06 Siedepunkt

Grundlegende Informationen
Herkunftsort: China
Markenname: Newradar Gas
Zertifizierung: ISO/DOT/GB
Modellnummer: N/A
Min Bestellmenge: PC 1
Preis: negotiation
Verpackung Informationen: Verpackt im Zylinder 10L-500L oder entsprechend den Nachfragen verpackt.
Lieferzeit: 10-20 Werktage empfingen nachher Ihre Zahlung
Zahlungsbedingungen: L/C, T/T, Western Union, MoneyGram
Versorgungsmaterial-Fähigkeit: PCS 1000 pro Monat
Detailinformationen
Produktname: Stickstofftrifluorid DICHTE: 3,003 kg/m3 (1 ATM, °C) 15
Geruch: Schimmelig Auftritt: Farbloses Gas
CAS No.: 7783-54-2 Einecs nein.: 232-007-1
Schmelzpunkt: °C −207.15 Siedepunkt: °C −129.06
Markieren:

Elektrisches Gas

,

Reinheit plus Spezialitätengase


Produkt-Beschreibung

NF3, Flüssiggas, Stickstoff-Trifluorid, 99.99~99.999%, verwendet in der elektronischen Industrie

 

Beschreibung:

 

Stickstoff-Trifluorid (NF3) ist ein farbloses und stabiles Gas unter Umgebungsbedingungen. Das Gas ist, unverbrennbar aber kann Verbrennung stützen. Wenn die Temperatur über 350℃ ist, zerlegt das Gas langsam, um Fluor der starken Oxidation zu produzieren und deshalb, ist es ein starkes Oxydationsmittel an der hohen Temperatur.

 

Die resultierenden Fluoratome sind die aktiven Reinigungsmittel, die den Polysilicon, das Silikonnitrid und das Siliziumoxid in Angriff nehmen. Stickstofftrifluorid kann mit Wolframsilicid und dem Wolfram auch benutzt werden, der durch CVD produziert wird.

 

NF3 ist als einen umweltsmäßig vorzuziehenden Ersatz für Schwefelhexafluorid oder perfluorocarbons wie hexafluoroethane angesehen worden. Die Prozessnutzung der Chemikalien, die in den Plasmaverfahren angewendet werden, ist gewöhnlich unter 20%. Deshalb etwas von dem PFCs und auch etwas von dem immer Entweichen NF3 in die Atmosphäre. Moderne Gasabnahmesysteme können solche Emissionen verringern.

 

Spezifikationen:

 

1. Physikalische Eigenschaften

 

Produkt-Name Stickstoff-Trifluorid
Molekulare Formel NF3
UNO nein. UNO 2451
CAS No. 7783-54-2
EINECS nein. 232-007-1

 

2. typische technische Daten

 

Einzelteil Einheit Indexieren Sie
NF3 Vol.% ≥ 99,995 99,99
CF4 Vol.% ≤ ≤20 ≤40
N2 Vol.% ≤ ≤5 ≤10
O2+Ar Vol.% ≤ ≤3 ≤5
Co Vol.% ≤ ≤1 ≤5
CO2 Vol.% ≤ ≤1 ≤5
N2O Vol.% ≤ ≤1 ≤5
SF6 Vol.% ≤ ≤2 ≤5
H2O Vol.% ≤ ≤3 ≤1

 

 

3. Paket

 

Tonnenzylinder der PUNKTnahtloser Stahlzylinder 3AA/GB5099

 

Zylinder-Informationen Einzelner Zylinder (47L) Bündel Y-Zylinder ISO-Rohr
Material Mangan-Stahl (316L)   Stahl Cr-MO  
Ventil-Verbindungsart CGA 330 CGS/DISS 640   DISS 640 usw.  
Art DOT-3AA GB5099 47L*16/47L*25   20ft: 40ft
Druck 9-13Mpa      
Füllendes Gewicht 20/22.7kg   195/200  

 

Anwendungen:

 

Stickstoff-Trifluorid (NF3) ist in der elektronischen Industrie, Halbleiter und Solarfotoelektrizitätsindustrie etc., das weitverbreitet gewesen es eine gute Radierung und ein Reinigungsgas mit Vorteilen ohne restliches ist, hohe Reinigungsgeschwindigkeit und einfach zu zerlegen.

Kontaktdaten
Vicky Liu

Telefonnummer : 86-27-82653381

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