Elektronische Gase C4F6 für Digital-Elektrogeräte/flüssigen Crystal Displays

Gas C4F6 benutzt in den digitalen Elektrogeräten und in den Flüssigkristallanzeigen

Beschreibung:

Im Molekül C4F6 das C: F-Verhältnis ist genug hoch, die Menge des Polymers auf der Kammeroberfläche und Oblatenoberfläche hinsichtlich der f-Radierungsradikale zu steuern. Wichtiger ist, dass die tatsächliche Eigenschaft hohe Selektivität zu den Substraten erlaubt, oder Foto und breitere Prozessfenster verglichenes z.B. C4F8 (Octafluorobutane) widersteht. Dieses Verhalten ist besonders nützlich, den Bedarf an der Subvention anzusprechen 0,25 m-Anforderungen.

Wenn Argon verwendet wird, wie Trägergasnitridselektivität eine abnehmende Funktion ergeben kann. Xenon, da das andere mögliche Trägergas eine erhöhte Selektivität hat. Deshalb sind Mischungen von Ar/Xe ein guter Kompromiss.

Märkte u. Anwendungen

TOXIKOLOGISCHE INFORMATIONEN

Anwendungen:

1. C4F6 wird für den Gebrauch im Plasma, Ionenstrahl vorgeschlagen oder Radierung bei der Halbleiterbauelementherstellung spritzt.

2. Besonders sind hervorragende Ergebnisse in der dielektrischen Radierung des Plasmas mit Xe und in AR als Trägergas und dilutants beobachtet worden. Im Plasma ist der Nichtleiter, der es ätzt, wichtig, die Plasmachemie zu steuern, um Radierungs- und Absetzungsspezies zu balancieren.