CAS No.:: | 685-63-2 | Andere Namen:: | 1,1,2,3,4,4-hexafluorbuta-1,3-dieen |
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Gefahrenklasse: | 2.3 | Ursprungsort:: | Hubei |
Reinheit:: | 99,95% | Anwendung:: | Fluorkohlenstoff-ansässiges Plasma, das ätzt |
Paket:: | Kundenzylinderfülle | Zylindervolumen:: | 50L |
Markieren: | Elektrisches Gas,Reinheit plus Spezialitätengase |
Hoher Reinheitsgrad C4F6 gas99.995%, Gebrauch in der Fluorkohlenstoff-ansässigen Plasma-Radierung
Beschreibung:
HFB, Gas der Trockenätzen C4F6, das es sich in Russland entwickelt hat. C4F6 ermöglicht Trockenätzen an einer Linienbreite von so schmalem wie 90 Nanometer oder weniger. Es ist deshalb für Verarbeitungssystem LSIs und die Hochgeschwindigkeits-, grossräumigen größtintegrierten Speicherbauelemente unentbehrlich, die in zunehmendem Maße in den digitalen Elektrogeräten und in den Flüssigkristallanzeigen benutzt werden.
Fluorkohlenstoffgase sind für die Verarbeitung der Silikonoxidschicht weitverbreitet. Verglichen mit dem octafluorocyclobutane (C4F8) z.Z. benutzt für die Verarbeitung an der Linienbreite von 130 Nanometer, hat C4F6 die folgenden Vorteile:
1.High Längenverhältnis, mit dem Ergebnis der schmalen und tiefen Nuten (passend für die Verarbeitung an der sehr schmalen Linienbreite)
Selektivität 2.High (stellt Radierung nur der Silikonoxidschicht sicher; beeinflußt nicht Fotoresist, Silikonsubstrat oder Nitridfilm)
FEUERBEKÄMPFUNGSMASSNAHMEN
FLAMMPUNKT | KEINE DATEN VERFÜGBAR. |
FEUERLÖSCHMITTEL | PASSEND: WÄSSERN SIE SPRAY, TROCKNEN SIE SCHAUM, KOHLENDIOXYD. |
FEUERBEKÄMPFUNG | SCHUTZAUSRÜSTUNG: ABNUTZUNGS-ATEMSCHUTZGERÄT UND SCHUTZKLEIDUNG, ZUM DES KONTAKTES MIT HAUT UND AUGEN ZU VERHINDERN. SPEZIFISCHE GEFAHREN: STRAHLT GIFTIGE DÄMPFE UNTER BRANDFALL AUS. ZYLINDER BRECHEN MÖGLICHERWEISE UNTER BRANDFALL. KÜHLEN SIE ALLE BETROFFENEN BEHÄLTER MIT DER ÜBERSCHWEMMUNG VON QUANTITÄTEN WASSER AB. |
ERSTE-HILFE-MASSNAHMEN
EINATMUNGS-BELICHTUNG | WENN SIE INHALIERT WERDEN, ENTFERNEN SIE HERAUSGESTELLT FRISCHLUFT. WENN DIE ATMUNG SCHWIERIG IST, RUFEN SIE EINEN ARZT SOFORT AN. |
HAUTbelichtung | IM FALLE DER BELICHTUNG WASCHEN SIE SOFORT HAUT MIT SEIFE UND REICHLICHEN MENGEN WASSER. RUFEN SIE EINEN ARZT SOFORT AN. |
AUGEN-BELICHTUNG | IM FALLE DES KONTAKTES MIT AUGEN, BÜNDIGES MIT REICHLICHE MENGEN WASSER FÜR MINDESTENS 15 MINUTEN. SICHERN SIE DIE AUSREICHENDE SPÜLUNG ZU, INDEM SIE DIE AUGENLIDER MIT DEN FINGERN TRENNEN. RUFEN SIE EINEN ARZT SOFORT AN. |
MUNDbelichtung | KEIN NORMALER WEG DES EINTRITTS. WENN SIE GESCHLUCKT WERDEN, WASCHEN SIE HERAUS MUND MIT WASSER, VORAUSGESETZT PERSON BEWUSST IST. RUFEN SIE EINEN ARZT AN. |
Anwendungen:
1.C4F6 kann als organometallische filmbildende Gase verwenden,
2. Gas HFB (C4F6) kann als Reinigungsmittel, das Abgas verwenden, das Wäscher verarbeitet